超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備,工藝時(shí)間短,生產(chǎn)效率高,具有出色的工藝性能達(dá)到先進(jìn)水平。
應(yīng)用領(lǐng)域
◎ VLSI集成電路制造
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
◎晶片(片/批次)150片
◎ 晶片高速搬送系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高吞吐量
◎ 精密的熱場(chǎng)控制,氣體控制系統(tǒng)
◎ 工藝周期短,生產(chǎn)效率高
外形尺寸及重量
◎ 外形尺寸(參考):4330mm*900mm*3305 mm(長*寬*高)
◎ 重量:2500Kg
超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備,工藝時(shí)間短,生產(chǎn)效率高,具有出色的工藝性能達(dá)到先進(jìn)水平。
應(yīng)用領(lǐng)域
◎ VLSI集成電路制造
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
◎晶片(片/批次)150片
◎ 晶片高速搬送系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高吞吐量
◎ 精密的熱場(chǎng)控制,氣體控制系統(tǒng)
◎ 工藝周期短,生產(chǎn)效率高
外形尺寸及重量
◎ 外形尺寸(參考):4330mm*900mm*3305 mm(長*寬*高)
◎ 重量:2500Kg
在線留言
Online Message
相關(guān)產(chǎn)品
Related Products