優(yōu)勢(shì)

◆快速的工藝認(rèn)證，可以極高的提升生產(chǎn)

◆專業(yè)的高效電池制造

◆良好的膜厚均勻性，較長(zhǎng)的恒溫區(qū)

◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本，良好的服務(wù)和支持確保了長(zhǎng)期完美的生產(chǎn)能力

◆Ivoc:>740mV(鈍化后)

主要特點(diǎn)

◆產(chǎn)能:2200~2880pcs/管

◆管數(shù):5管/6管

◆硅片尺寸:182-230mm硅片

◆壓力控制:APC控制

◆系統(tǒng)控制:PLC和PC控制基礎(chǔ)

◆通訊:Melsec，MES，I/O，SECS-II等

◆自動(dòng)化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案

◆運(yùn)行時(shí)間：97%

硬件規(guī)格

◆最高溫度:800℃

◆溫度均勻性:500℃~700℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳

工藝規(guī)范

◆膜厚:1000A~3000A

◆厚度均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間均勻性)

◆未摻雜多晶硅(硅烷)

◆N型摻雜多晶硅PH3

◆P型摻雜多晶硅B2H6